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高纯电子气体
氢是主要的工业原料,也是最重要的工业气体和特种气体,在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。同时,氢也是一种理想的二次能源(二次能源是指必须由一种初级能源如太阳能、煤炭等来制取的能源)
氮气在常况下是一种无色无味无臭、无毒的气体。氮气占空气含量的78%,在标准情况下的气体密度是1.25g/L,氮气在水中溶解度很小。氮气在极低温-196℃下会液化成无色液体,进一步降低温到-210℃时,更会形成白色晶状固体。
超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为:750—850℃:SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2,850—900℃:3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。虽然NH3在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料
三氟化氮是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
氩气是一种无色、无味的单原子气体,相对原子质量为39.948。一般由空气液化后,用分馏法制取氩气。氩气的密度是空气的1.4倍,是氦气的10倍。氩气是一种惰性气体,在常温下与其他物质均不起化学反应,在高温下也不溶于液态金属中,在焊接有色金属时更能显示其优越性。可用于灯泡充气和对不锈钢、镁、铝等的电弧焊接,即“氩弧焊”。
二氧化碳(carbon dioxide),一种碳氧化合物,化学式为CO2,化学式量为44.0095[1],常温常压下是一种无色无味[2]或无色无嗅而其水溶液略有酸味[3]的气体,也是一种常见的温室气体[4],还是空气的组分之一(占大气总体积的0.03%-0.04%[5])。在物理性质方面,二氧化碳的熔点为-56.6℃(527kPa),沸点为-78.5℃,密度比空气密度大(标准条件下),溶于水。在化学性质方面,二氧化碳的化学性质不活泼,热稳定性很高(2000℃时仅有1.8%分解),不能燃烧,通常也不支持燃烧,属于酸性氧化物,具有酸性氧化物的通性,因与水反应生成的是碳酸,所以是碳酸的酸酐。
氧气(oxygen)是氧元素形成的一种单质,化学式O2,其化学性质比较活泼,与大部分的元素都能与氧气反应。常温下不是很活泼,与许多物质都不易作用。但在高温下则很活泼,能与多种元素直接化合,这与氧原子的电负性仅次于氟有关。